Линейка растровых электронных микроскопов Quanta - это самые универсальные сканирующие электронные микроскопы, работающие в трех режимах (высоковакуумный, низковакуумный и режим естественной среды*), предназначенные для работы с широким спектром образцов. Семейство микроскопов FEI Quanta обладает многофункциональностью, необходимой для получения изображений с высоким разрешением и удовлетворения требований проведения анализа в различных лабораторных условиях.
Quanta 250 / 450 / 650 / 250 FEG / 450 FEG / 650 FEG
Характеристика |
Модель Quanta |
|||||
|
250 |
450 |
650 |
250 FEG |
450 FEG |
650 FEG |
Разрешение |
||||||
- высокий вакуум |
- 3,0 нм при 30 кВ (SE) |
- 0,8 нм при 30 кВ (STEM)* |
||||
- высокий вакуум в режиме торможения пучка |
- 7,0 нм при 3 кВ (режим BD* + vCD*) |
- 3,0 нм при 1 кВ (режим BD* + BSE*) |
||||
- низкий вакуум |
- 3,0 нм при 30 кВ (SE) |
- 1,4 нм при 30 кВ (SE) |
||||
- режим естественной среды (ESEM*) |
- 3,0 нм при 30 кВ (SE) |
- 1,4 нм при 30 кВ (SE) |
||||
Ускоряющее напряжение |
от 200 В до 30 кВ |
|||||
Ток зонда |
До 2 мкA |
≤200 нA |
||||
Перемещения столика по осям Х и У |
50 мм |
100 мм |
150 мм |
50 мм |
100 мм |
150 мм |
Ширина камеры |
284 мм |
284 мм |
379 мм |
284 мм |
284 мм |
379 мм |
Количество портов |
8 |
8 |
8 |
8 |
8 |
10 |