TFE BV3/4F - установки вакуумного магнетронного напыления тонких пленок с вертикальным расположением подложек и магнетронных источников. Данная конфигурация обеспечивает высокую однородность плёнок в процессе осаждения. Ключевые параметры и опциональные возможности аналогичны серии TFE BH3/4F