Трехмерный оптический профилометр NewView™ 9000 обеспечивает высокую универсальность бесконтактного оптического профилирования поверхностей. С помощью данной системы Вы можете легко и быстро измерять широкий диапазон поверхностей различных типов, включая гладкие, грубые, плоские, наклонные и ступенчатые. Все измерения являются неразрушающими, быстрыми и не требуют подготовки образцов. В основе системы лежит технология когерентной сканирующей интерферометрии (CSI) ZYGO, которая обеспечивает точность на субнанометровом уровне при всех значениях увеличения для более широкого диапазона поверхностей по сравнению с другими аналогичными технологиями, доступными на рынке.
Гибкость является отличительной чертой продуктов NewView от ZYGO. Профилометр NewView 9000 является инструментом выбора для измерения плоскости, шероховатости, волнистости поверхностей, тонких пленок, высоты шагов и многих других параметров.
Все профилометры NewView 9000 оснащены трехрежимной турелью, которая может оснащаться различной, разработанной для системы оптикой, что позволяет получать различные дискретные значения оптического увеличения. Размещение образца может выполняться как в ручном, так и полностью автоматическом режиме с наличием обратной связи по значению перемещения.
Независимо от вашей конфигурации все системы NewView 9000 обеспечивают быстрые, высокоточные измерения и простоту использования по привлекательной цене, что делает данные системы идеальным универсальным решением, обладающим оптимальным соотношением стоимость/производительность, по сравнению с другими оптическими профилометрами.
Системы NewView 9000 оснащены широким спектром функций, направленных на оптимизацию измерительного процесса, повышение его скорости, точности и надежности:
Система оптического профилометра NewView 9000
Профилометр NewView 9000 поставляется с программным обеспечением ZYGO Mx™, которое предназначено для управления системой и анализа данных. Программное обеспечение позволяет получать и анализировать информативные интерактивные трехмерные графики, количественную топографическую информацию, обладает интуитивно-понятной навигацией по видам измерений и встроенной системой статистического контроля производственных процессов, контрольными картами и пределами для оценки соотвествия/несоотвествия.
Профилометр NewView 9000 обладает большой рабочей областью со свободными линиями обзора, что позволяет просто и быстро устанавливать настройки измерений и выполнять переналадку. Система может быть оборудована различными столиками для образца от полностью ручных столиков с возможностью перемещения по осям XY и наклоном до полностью автоматизированных столиков с перемещением 150 мм и углом наклона до 4 градусов. Благодаря встроенной системе изоляции и компактному размеру установка подходит для применения в качестве настольного прибора, а применение опционально стойки и рабочей станции делает ее идеальной системой для производственных условий.
Система |
|
Номер по каталогу |
6311-0100-01 NV 9000 с изоляцией 6311-0100-11 NV 9000 без изоляции |
Метод измерения |
Трехмерная когерентная сканирующая интерферометрия, технология SureScan™ и интерферометрия с фазовым сдвигом |
Сканнер |
Прецизионный пьезопривод с защитой от столкновений |
Объективы |
Увеличение в диапазоне 1.0X - 100X Стандартное и длинное рабочее расстояние |
Опции для монтажа объективов |
Крепление для одного объектива 4-х позиционная турель с ручным управлением Моторизованная 4-х позиционная турель |
Оптический зум |
Моторизованная 3-позиционная турель с 1,0-кратным увеличением Опционально 0.5X, 0.75X, 1.5X, 2.0X |
Область обзора |
от 0,04 х 0,04 мм до 17,49 х 17,49 мм, функция объединения сегментов для больших площадей |
Подсветка |
Светодиодная, белого света с ручным отключением, остановкой диафрагмы и спектральными фильтрами |
Область измерений |
Настраиваемый 1600 x 1200, 1000 x 1000, 1000 x 600, 1000 x 200 |
Просмотр детали |
Окно просмотра в программном обеспечении Mx |
Фокусировка |
Моторизованная ручная или автоматическая фокусировка с помощью объектива |
Столик Z-Drive (фокусировка) |
Диапазон 100 мм с разрешением 0,1 мкм |
Столик для детали |
Диапазон перемещения ручного столика: • XY: 100 мм; наклон: ±3° Диапазон перемещения моторизированного столика: • XY: 150 мм; наклон: ±3° Опция экнкодера по осям XYZ |
Системный контроллер |
ПК с процессором класса i7 и экраном 1080P |
Программное обеспечение |
ПО ZYGO Mx версии 7.2.0 либо более поздняя версия с ОС Microsoft Windows 10 (64 бит) |
Физические характеристики |
|
Размеры (ВхШхГ) |
75 x 64 x 56 см (основной модуль, настольное исполнение) 151 x 73 x 61 см (на стенде, максимальная высота, закрытые дверцы) Опциональная рабочая станция: 83 x 73 x 61 см (с закрытым ящиком) |
Вес |
Система NewView: 91 кг Система NewView со стендом: 229 кг |
Требования к подключаемым источникам |
|
Входное напряжение |
от 100 до 240 В, AC, 50/60 Гц |
Сжатый воздух для столика |
От 4.1 до 5.5 бар (от 60 до 80 psi); сухой отфильтрованный воздух; вход для шланга с внешним диаметром 6 мм, в комплект включен переходник ¼ дюйма. |
Рабочие характеристики |
|
Диапазон сканирования по вертикали |
150 мкм с прецизионным пьезоприводом; |
Повторяемость топографии поверхности |
0,08 нм |
Среднеквадратическое значение повторяемости топографии поверхности |
0,008 нм |
Оптическое боковое разрешение |
0.34 мкм (объектив 100X) |
Пространственная выборка |
0,04 мкм (объектив 100X 2-кратное увеличение) |
Максимальная скорость сканирования данных |
53 мкм / сек при 1600 x 1200 69 мкм / сек при 1000 х 1000 107 мкм / сек при 1000 x 600 171 мкм / сек при 1000 х 200 |
Повторяемость высоты шага |
0,1 % |
Погрешность высоты шага |
0,3 % |
Параметры измеряемой детали |
|
Материал |
Непрозрачный, прозрачный, с покрытием, |
Максимальная высота образца |
89мм; более высокие образцы с применением головки и подъемного механизма |
Максимальный наклон поверхности |
55° - гладкая деталь @ 100X 85° - рассеивающая поверхность |
Отражательная способность образца |
0.05% - 100% |
Условия окружающей среды |
|
Температура |
От 15 до 30 ° C со скоростью изменения <1,0 ° C за 15 минут |
Относительная влажность |
от 5 до 95%, без конденсации |
Изоляция от вибраций |
Включена и требуется для вибраций в диапазоне от 1 Гц до 120 Гц |